河北潔凈車(chē)間消除了一定空間內(nèi)空氣中的顆粒，有害空氣，細(xì)菌和其他污染物，并根據(jù)一定的需求控制室內(nèi)溫度，清潔度，壓力，空氣流速和空氣分布，噪聲，振動(dòng)，照明和靜電 范圍內(nèi)的工程學(xué)科。 潔凈室經(jīng)過(guò)特殊設(shè)計(jì)的房間能夠保持原始設(shè)定要求的潔凈度，溫度，濕度和壓力，而不受外部空氣條件的變化的影響。 這比使用湍流來(lái)描述湍流潔凈室更為準(zhǔn)確和全面。 湍流主要由雷諾數(shù)決定，潔凈室也主要受流速影響。 但是，如果使用高效的過(guò)濾器頂送空氣供應(yīng)形式，則即使流速極低，也將產(chǎn)生上述結(jié)果。 這是因?yàn)樗峭蝗涣鲃?dòng)和不均勻流動(dòng)。 因此，在這種情況下，不僅由于湍流引起流體層之間的混合，而且由于整個(gè)室內(nèi)的大的回流和渦旋而引起的混合。  

特定過(guò)程的溫度要求將在后面列出。 潔凈室，但作為一般原則，隨著加工精度的提高，對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。 例如，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，要求玻璃和作為掩模材料的硅晶片的熱膨脹系數(shù)之間的差越來(lái)越小。 當(dāng)溫度升高1度時(shí)，直徑為100 um的硅晶片將引起0.24 um的線(xiàn)性膨脹。 因此，它必須具有±0.1度的恒定溫度。 同時(shí)，通常要求濕度值要低，因?yàn)槿顺龊购?，產(chǎn)品將被污染和清潔。 房間尤其是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不應(yīng)超過(guò)25度。